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什麼是無塵潔淨室等級劃分與靜態動態？
日期：2025-10-02 20:56
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摘要：
什麼是無塵潔淨室等級劃分與靜態動態？筆者從事潔淨行業多年，與大家一起去探討一下。
一、潔淨等級劃分：十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級等。（靜態）
二、聯邦209E標準：每立方英尺空間內粒徑為0.5um的粒子不超過多少個。美國聯邦標準FS209E中的潔淨等級
| 等級名稱 | 等級限值 | ||||||||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||||
| 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | |||||||||
| 國際單位 | 英製 單位 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | ||
| M1.0 | | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / | ||
| M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / | ||
| M2.0 | | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / | ||
| M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / | ||
| M3.0 | | 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / | ||
| M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / | ||
| M4.0 | | / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | | / | | |
| M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 | ||
| M5.0 | | / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | ||
| M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 | ||
| M6.0 | | / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | ||
| M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | ||
| M7.0 | | / | / | / | / | / | / | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 | ||
三潔淨室的空間占用狀態：
1、空態：潔淨室所有設施要安裝完成並在工作，但無生產設備、材料或人員在場。
2、靜態：潔淨室所有設施在運行，生產設備安裝完成並心供需雙方同意的方式運行，但無人員在場。
3、動態：設施、設備心規定的方式運行，有規定數量的人員按事先同意的方式在工作。
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